上料和下料：花篮

输出 ：石英舟，一拖一/二

满足IGV对接或人工

标配 ：陶瓷吸盘，陶瓷快插顶齿

标配 ：离子分片风刀,伺服纠偏，方阻检测

可选龙门架插取片，6轴机器人插取片

可选机械手卧篮插取片或机械手竖篮插取片

适用于182半片,210半片，最大可兼容至230半片