半片 TOPCON自动化
半片-PECVD插片机
上料和下料 ： 花篮
输出 ： 石墨舟，一拖一/二
标配舟温检测，垂直拍舟及高频拍舟，陶瓷吸盘
可选在线色差检测，PL检测，碎片检测，翘片检测
可选支持MES功能和远程诊断功能
可选智能IGV接口
智能机器，OEE统计和能源消耗分析功能
适用于182半片,210半片，最大可兼容至230半片
设备功能
上料和下料 ： 花篮
输出 ： 石墨舟，一拖一/二
标配舟温检测，垂直拍舟及高频拍舟，陶瓷吸盘
可选在线色差检测，PL检测，碎片检测，翘片检测
可选支持MES功能和远程诊断功能
可选智能IGV接口
智能机器，OEE统计和能源消耗分析功能
适用于182半片,210半片，最大可兼容至230半片
设备参数
| 项目 | 参数 | |
| 硅片尺寸 | 182-230mm | 182-230mm |
| 产能 | 15000pcs/h | 17000pcs/h(双机械手) |
| 碎片率 | ≤0.03% | ≤0.03% |
| 稼动率 | ≥99% | ≥99% |
| 拍舟功能 | 拍舟＋高频震舟 | 拍舟＋高频震舟 |
| 机器人选型 | 史陶比尔/发那科 | 史陶比尔/发那科 |
| 外接设备 | 色差检测、PL检测、碎片检测、翘片检测、翻转、NG进花篮 智能IGV接口，高精度称重，隐裂，双片 | |
| 软件功能 | MES功能、远程诊断功能、OEE统计，和能源消耗分析功能 | |
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