整片 TOPCON自动化
PECVD插片机
上料和下料 ： 花篮
输出 ： 石墨舟
标配舟温检测，垂直拍舟及高频拍舟，陶瓷吸盘，单路真空
可选在线色差检测，PL检测，碎片检测，翘片检测
可选支持MES功能和远程诊断功能
可选智能IGV接口
智能机器，OEE统计和能源消耗分析功能
适用于182mm、210mm及182*210mm矩形片，最大尺寸可兼容到230mm
设备功能
上料和下料 ： 花篮
输出 ： 石墨舟
标配舟温检测，垂直拍舟及高频拍舟，陶瓷吸盘，单路真空
可选在线色差检测，PL检测，碎片检测，翘片检测
可选支持MES功能和远程诊断功能
可选智能IGV接口
智能机器，OEE统计和能源消耗分析功能
适用于182mm、210mm及182*210mm矩形片，最大尺寸可兼容到230mm
设备参数
| 项目 | 参数 | |
| 硅片尺寸 | 182-230mm | 182-230mm |
| 产能 | 7500pcs/h | 8500pcs/h（双机械手） |
| 碎片率 | ≤0.03% | ≤0.03% |
| 稼动率 | ≥99% | ≥99% |
| 拍舟功能 | 拍舟＋高频震舟 | 拍舟＋高频震舟 |
| 机器人选型 | 史陶比尔/发那科 | 史陶比尔/发那科 |
| 上料/下料方式 | 花篮/花篮 | |
| 外接设备 | 色差检测，PL检测，碎片检测，翘片检 测，翻转，NG进花篮、智能IGV接口、高精度称重，隐裂，双片 | |
| 软件功能 | MES功能，远程诊断功能，OEE统计和能源消耗分析功能 | |
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