整片 TOPCON自动化
ALD插片机
料和下料：干/湿花篮
输出 ：金属舟
满足IGV对接或人工上下料
标配陶瓷吸盘，陶瓷/快插顶齿/侧梳齿
标配分片风刀，离子风除静电，风刀吹扫顶齿碎片
可选支持MES功能和远程诊断功能
可选智能IGV接口
智能机器，OEE统计和能源消耗分析功能
适用于182mm、210mm及182*210mm矩形片，最大尺寸可兼容至230mm
设备功能
料和下料：干/湿花篮
输出 ：金属舟
满足IGV对接或人工上下料
标配陶瓷吸盘，陶瓷/快插顶齿/侧梳齿
标配分片风刀，离子风除静电，风刀吹扫顶齿碎片
可选支持MES功能和远程诊断功能
可选智能IGV接口
智能机器，OEE统计和能源消耗分析功能
适用于182mm、210mm及182*210mm矩形片，最大尺寸可兼容至230mm
设备参数
| 项目 | 参数 |
| 硅片尺寸 | 182-230mm |
| 产能 | 16000pcs/h |
| 碎片率 | ≤0.02% |
| 稼动率 | ≥99% |
| 吸盘材料 | 陶瓷 |
| 吸盘印+顶 齿印+划伤 | ≥0.02% |
| 上料/下料方式 | 花篮/花篮 |
| MTBF | ≥500h |
| MTTR | ≤1h |
| 外接设备 | 隐裂，碎片检测，智能IGV接口 |
| 软件功能 | MES功能，远程诊断功能，OEE统计，和能源消耗分析功能 |
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