整片 TOPCON自动化
硼扩、氧化、LPCVD插片
上料和下料：干/湿花篮
输出 ：石英舟，一拖一/一拖二
满足IGV对接或人工上下料
标配 ：陶瓷吸盘，陶瓷/快插顶齿/侧梳齿
标配 ：分片风刀，离子风除静电，风刀吹扫顶齿碎片
选配：方阻检测，花篮碎片相机检测，舟碎片相机检测
可选龙门架插取片，6轴机器人插取片
可选机械手卧篮插取片或机械手竖篮插取片
适用于182mm、210mm及182*210mm 矩形片，最大尺寸可兼容到230mm
设备功能
上料和下料：干/湿花篮
输出 ：石英舟，一拖一/一拖二
满足IGV对接或人工上下料
标配 ：陶瓷吸盘，陶瓷/快插顶齿/侧梳齿
标配 ：分片风刀，离子风除静电，风刀吹扫顶齿碎片
选配：方阻检测，花篮碎片相机检测，舟碎片相机检测
可选龙门架插取片，6轴机器人插取片
可选机械手卧篮插取片或机械手竖篮插取片
适用于182mm、210mm及182*210mm 矩形片，最大尺寸可兼容到230mm
设备参数
| 项目 | 参数 | |||
| 硅片尺寸 | 182-230mm | 182-230mm | 182-230mm | 182-230mm |
| 产能 | 10000pcs/h | 8000pcs/h | 12000pcs/h | 12000pcs/h |
| 碎片率 | ≤0.02% | ≤0.02% | ≤0.02% | ≤0.02% |
| 稼动率 | ≥99% | ≥99% | ≥99% | ≥99% |
| 输出 | 一拖二 | 一拖一 | 一拖二 | 一拖一 |
| 取放片方式 | 机器人 | 机器人 | 桁架式 | 桁架式 |
| 上料/下料方式 | 花篮/花篮 | 花篮/花篮 | 花篮/花篮（116片花篮+） | 花篮/花篮（116片花篮+） |
| 外接设备 | 方阻检测、隐裂，碎片检测，舟内碎片相机检测、智能IGV接口 | |||
| 软件功能 | MES功能，远程诊断功能，OEE统计 和能源消耗分析功能 | |||
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